BW-Series: White Light Интерферометричен Микроскоп System

• Точно под-нано-повърхностен профайлър с безконтактно измерване
  собственически сканиране тип технология оптично измерване намеса на Nikon постига 1 picometer (ч) резолюция височина. Nikon предлага разнообразие от оптични микроскопи като системи за измерване, за да отговарят на широк спектър от приложения за измерване.
  Основни предимства
  Отлично качество на измерването
  BW-S507
  Осъществява 0.1 измервания на ултра-гладки повърхности с процес нито усредняване нито филтриране нм ниво.
  Позволява измервания със същата резолюция височина в широк диапазон на увеличение.
  Позволява измерване на двете гладки и грапави повърхности без да се променя режима на измерване или оптични филтри.
  Заснема както изображение всичко-в-фокус и изображение на височина повърхност.

  Широка гама от методи за наблюдение
  Системата може да се използва като оптичен микроскоп. Светло, поляризиращ, DIC и fluorescenceobservations са всички възможни.
   
  измерване Sub-нано-ниво в широк диапазон на увеличение
  Тип: BW-D501 система
  Тема: силициев карбид (SiC) Wafer

Sa 0.483nm 
0.645nm Sq 
Sz 7.460nm

Sa 0.302nm 
0.401nm Sq 
Sz 11.187nm

Sa 0.144nm 
0.545nm Sq 
Sz 121.859nm

Sa 0.391nm 
0.495nm Sq 
Sz 3.934nm

Sa 0.306nm 
0.398nm Sq 
Sz 3.264nm

Точни измервания на повърхността за микрометър обсег неравни повърхности
Тип: BW-A501 система
Тема: Мембрана на синтезиран диамант с помощта отлагане плазма химични пари в-течност
Снимки любезното съдействие на: Ph.D. Hiromichi Toyota, Ехиме University Graduate School на науката и Инженеринг

Височина калибриране с NIST-сертифициран стандарт VLSI

BW-D501 система