Spectrometru Elias
ELIAS este un spectrometru cu o capacitate a rezolutiei extrem de mare. Acesta este utilizat pentru masuratori spectrale extrem de precise a liniilor de emisie si absorbtie, in special a liniilor laser. Profilele de linie pot fi detectate simultan in cadrul vecinatatii lor spectrale cu un raport semnal-zgomot de pana la 40.000 cu ajutorul unui CCD. In afara de masurarea spectrala de inalta rezolutie a liniilor laser, este posibila si o dinamica a intensitatii cu 4 comenzi simultane. Acest lucru face posibila analiza liniilor laser spectrale aflate in vecinatate, altele decat cele analizate cu spectrometrele Fabry-Perot.
Principalul domeniu de aplicare al spectrometrului ELIAS este litografia cu laser excimer. Din cauza aberatiilor cromatice, obiectivele de refractie necesita o puritate spectrala extrem de mare a surselor de radiatii.
Conceptul de spectrometru
Aranjamentul optic realizeaza o capacitate extrem de mare a rezolutiei teoretice prin difractia luminii intr-o multitudine de comenzi de interferenta.
Pentru a putea utiliza sistemul optic al spectrometrului la capacitate maxima trebuie sa se indeplineasca doua cerinte:
– trebuie sa fie atinsa o imagistica difractie-limitata
– dispersia liniara trebuie sa fie suficient de mare astfel incat sa rezolve liniile cu 5-10 pixeli
Spectrometrul ELIAS poate fi folosit alternativ intr-o pasa dubla sau simpla. Acest lucru face posibila controlarea automata cu ajutorul software-ului pentru a lucra fie la o capacitate extrem de mare pentru analiza profilelor, fie la o capacitate mai redusa pentru analiza inspectiilor mari cu o sensibilitate mai mare.
Printr-o axa de 2.5 m inafara parabolei, si o optica cu o scara de reproducere a imaginii tangentiale de 4:1, se atinge o distanta focala a camerei de pana la 10 m.
Sistemul este extrem de stabil termic si mecanic. Motorizarea completa permite o operare foarte simpla, precum si focalizarea automata a spectrului pe detector. Prin aplicarea exclusiva a opticelor de reflectie cu straturi UV de banda larga, aberatiile cromatice sunt evitate si nu exista limitari in alegerea lungimii de unda de masurare. Cuplajul in spectrometru se realizeaza prin intermediul unui cuplaj fibra SMa sau optional prin optice pure de transfec.
Spectrometrele ELIAS sunt comercializate cu diferite configuratii:
Versiunea standard este ELIAS I
Software-ul Sophi controleaza si evalueaza toate functiile spectrometrului si detectorului. Are un mod de scanare care permite masurarea secventiala a unui interval de lungimi de unda mai mare decat intervalul spectral liber. Se poate atasa un driver optional LabView care permite controlul de la distanta al spectrometrului si integrarea acestuia in standuri de testare complexe.
Spectrometrul ELIAS II are o capacitate de rezolvare spectrala mult mai mare. Sistemul detector de inalta rezolutie si incorporarea unui obturator rapid, permit o masurare mult imbunatatita. Are o racire mai buna a sistemului detector reducand zgomotul de fond si prin urmare se imbunataseste semnificativ raportul semnal-zgomot.
Spectrometrul ELIAS III este net superior lui ELIAS II. Are o rezolutie dubla fata de ELIAS II.
Spectrometrul ELIAS-LD nu analizeaza liniile de 5-10 pixeli, in schimb in intervalul spectral liber poate fi triplat fara o scadere considerabila a capacitatii de rezolvare spectrala.
Pentru analiza laserelor F2 (157 nm) a fost conceputa versiunea ELIAS-VUV.
Specificatii
