NIKON NEXIV VMZ-K 6555
NEXIV VMZ-K 6555 – Новаторска многофункционална конфокална видеоизмервателна система
Nikon Confocal NEXIV VMZ-K6555 е разработен въз основа на водещите опто-мехатронни (оптични, механични и електронни) технологии на Nikon. Той включва различни конфокални оптики за бърза и точна оценка на фината триизмерна повърхностна метрология, технология за обработка на изображения и TT L лазерен автофокус. Той позволява както 2D измервания, така и измервания на височина в едно и също зрително поле.
Confocal NEXIV VMZ-K6555 се използва за инспекция и измерване на критични размери на изключително сложни структури на модерни полупроводникови устройства, карти на сонди, шаблони на субстрати на платки, MEMS и различни други взискателни приложения.
Ключови предимства
- Едновременно измерване на височина в широка зона със собствена конфокална оптика на Nikon
- 2D измерване с оптика с 15x увеличение на яркото поле
- Напълно съвместим с измерване на 300 mm пластини в полупроводникови фабрики
- Обработва размери на печатни платки със своя ход 650 x 550 mm
Приложения
- IC пакети: Flip Chip/COF(Bump)/COG, CSP (FBGA)/SIP (Bump, Wire), Interposer (височина на подложката)
- MEMS
- Карта за сонда (силиконова сонда, Au сонда)
- Прецизни стъклени компоненти (микро лещи, контактни лещи)
- Ширина/височина на разделителя за снимки за цветен филтър за FPD панел
