микроскоп Nikon NWL200
Най-новият микроскоп на Nikon със зареждане на подложки и инспекция
NWL200 e първият микроскоп с възможност за зареждане на полупроводникови подложки и инспекция с възможност за зареждане на подложки с дебелина от 100 µm. Благодарение на специално разработена система, NWL200 осигурява зареждане с висока надеждност, подходящо за инспекция на съвременните полупроводници. Подобрени функции за предотвратяване на повреда на подложките, с автоматична детекция на дефекти.
Категории: Оборудване за полупроводници
Приложения: Полупроводникови подложки
Опция за откриване на дефекти по ръбовете
Откриването на дефекти по ръбовете, което беше трудно със стандартните устройства за зареждане на подложки за микроскопи, сега може да се извършва автоматично. Това позволява макро инспекция за всички зони.
Дистанционен контрол
Устройството за зареждане е оборудвано с функция Web server. Когато е свързано с LAN, можете да програмирате инспекцията на компютър и лесно да създадете backup данни от зареждането.
Ъпгрейди на системата
Мерки против замърсяване
За защита от замърсявания при центриране на подложките, центрирането и подравняването става безконтактно, с фотоелектрични сензори. Системата е конфигурирана така, че да не се пречи на поток на чист въздух в помещението, и се предприемат мерки за предотвратяване появата на частици, при всмукване, върху повърхността на вафлата. В допълнение, капакът е неръждавеещ, за предотвратяване от статично електричество и прах.
Висока надеждност
При възникване на грешка, се появява съобщение на LCD екрана. Вакуумният механизъм работи, дори и при изключено захранване. При възникване на проблем, подложките на зареждащия механизъм могат да се върнат без необходимост от пинцети.
Функции за макро инспекция
Микроскопът разполага и с макро функции за инспекция на задната чат на подложката. Параметрите на инспекцията, като скорост и ъгъл на наклон, могат да се зададат ръчно или автоматично. За връщане на първоначалните настройки се използва бутонът за макро настройка, след което за по-нататъшни настройки се използва джойстика. Освен това, новата WIL-LED система за осветление позволява равномерно осветление в по-голяма зона.
Функции за максимална производителност
Подемната система е изненадващо бърза, също и механизмът за безконтактно центриране прави възможно бързото и точно подравняване. Система с мулти ръка също спомага бързото и прецизно зареждане и разтоварване на подложките, подобрявайки общата ефективност на трансфера и смяната на подложките. Това значително намалява времетраенето на цикъла, постигайки нива на производителност, непознати досега.
Управление на подложките
Бутони на предния панел на системата, позволяват на операторите да селектират всяка подложка с отделен бутон. Голям LCD панел позволява на потребителите да настроят параметрите на инспекцията, като проверяват работата на системата и възникналите грешки.
Модифицирана конструкция за подобрена ергономичност
Нова система за захващане за подложки с дебелина 100µm
С напредването на производствените технологии, подложките стават все по-тънки. Съответно нараства необходимостта от микроскопска инспекция на все по-тънки подложки. С новата система за захващане на Никон, NWL200 може да зарежда ултра тънки подложки, дебелина до 100µm.
Подобрени функции за оценка на деформации на подложките
Тъй като тънките подложки лесно се деформират, ръката може лесно да ги увреди, ако сензорите за позициониране не са точни. В миналото, беше трудно сензорите да разпознават деформацията на подложките, но вече с оптимизирането на лъчите на сензорите, NWL200 може лесно и точно да определи формата на тънките подложки.
