Microscop Nikon NWL200
Cele mai noi si sofisticate microscoape de inspectie IC oferite de Nikon Metrology.
Seria NWL200 este prima gama de microscoape de inspectie capabile sa incarce pana la 100 microni.
Categorie: echipamente semiconductoare
Edge Detection-Chipping optional
Acestu lucru permite inspectii pentru toate domeniile. Cu optiunea de detectare automata de inalta precizie se elimina in totalitate defectele de margine care provoaca fisuri.
Se poate accesa de la distanta
Loaderul este echipat cu functia de Web server iar cand este conectat la o retea LAN se pot crea retele de control pe un PC si se poate efectua foarte usor un backup al datelor.
Masuri anti-contaminare
Pentru a preveni depunderea prafului provenit din frecare sau impact, centrarea si alinierea se face utilizand senzori fotoelectrici. Capacul este din otel inoxidabil pentru a preveni acumularea de electricitate statica si praf. Fiecare masura a fost luata pentru a garanta o masuratoare corecta in timpul inspectiei.
Fiabilitate
Un mesaj de eroare este afisat pe ecranul LCD atunci cand exista o problema. Mandrina sistemului ramane pornita chiar si atunci cand sistemul este oprit.
Caracteristici adaptate pentru o transmisie maxima
Este un sistem foarte rapid, iar mecanismul non-contact permite o aliniere rapida si precisa. Sistemul multi-brat permite incarcarea / descarcarea pieselor cu o precizie mare, crescand astfel eficienta globala a transferului. Timpii de ciclu scad considerabil si se atinge un nivel de randament nemaintalnit la un alt sistem.
Butoane Wafer-Slot
Noile butoane pozitionate pe panoul frontal permite utilizatorilor sa selecteze orice operatie cu un singur buton. Panoul LCD permite utilizatorilor sa stabileasca conditii, cum ar fi prelevarea de probe si modele de control, precum si verificarea starii de functionare si continutul de erori daca exista. Ecranele sunt aranjate intr-o structura ierarhica, cu un ecran pentru fiecare sarcina, pentru buna derulare a tuturor pasilor. Suita de functii de gestionare a fisierelor este utila pentru automatizarea inspectiei.
Membrana modificata ofera o ergonomie mai buna
Tastele de control si butoanele sunt situate la o distanta mica fata de operator astfel incat operatiunea necesita o miscare minima.
Noul sistem suporta incarcare pana la 100µm
Cu noul sistem, seria NWL200 poate incarca piese ultra-subtiri de pana la 100 µm. Acest nivel ridicat de siguranta si fiabilitate indeplineste toate cerintele de inspectie existente.
Imbunatatirea funtiei Wafer-sensing
Deoarece probele sunt foarte subtiri, pot suferi distorsiuni in timpul transportului iar bratul le poate deteriora daca senzorii de pozitie nu sunt setati corect. In trecut era destul de greu ca senzorii sa detecteze marginile probelor foarte subtiri, dar cu noul sistem oferit de NWL200 aceasta problema nu mai exista.
